在工业生产中激光镜片材料加工的重要分支

激光作为新型光源，具有方向性好、亮度高、单色性好及高能量密度等特点。以激光器为基础的激光工业在全球发展发展迅猛，现在已广泛应用于工业生产、通讯、信息处理、医疗卫生、军事、文化教育以及科研等方面。据统计，从高端的光纤到常见的条形码扫描仪，每年和激光相关产品和服务的市场价值高达上万亿美元。

激光产业已形成完整、成熟的产业链分布，上游主要包括激光材料及配套元器件，中游主要为各种激光器及其配套设备，下游则以激光应用产品、消费产品、仪器设备为主。国内激光市场主要包括激光加工设备、光通信器件与设备、激光测量设备、激光器、激光医疗设备、激光元部件等，要应用则在于工业加工和光通信市场，两者占据了近7成的市场份额。

随着激光束与材料的相互作用研究的发展，激光器的输出功率、稳定性和可靠性等的提高使其逐渐得到了实际应用，并且成为在工业生产中材料加工的重要分支。自从第一台激光器诞生以来，人们就开始探索激光在材料加工领域中的应用。

1965年前后，YGA激光器和Co2激光器相继出现，由于这两种激光器可以产生相当高的输出功率和能量，便激光在材料加工领域的应用成为可能。在2 0世纪7 0年代初期，随着晶体材料质量的不断提高，聚光腔性能的改进，冷却系统和激光谐振腔结构的不断完善，使YAG激光器开始成为微型件切割、焊接、退火等的重要光源，并逐步在生产中得到应用。到70年代后期，Co2激光器的结构从封离式、玻璃管结构发展到横向、纵向流动式和波导式；同时激励方式从直流、交流中进行了转变。

激光镜片镀膜前经过一系列的清洗过程之后，在基片放入真空室的过程中以及在真空室抽取真空的过程中，装入镀膜设备真空室以及进行蒸镀前，基片均有可能被二次污染，从而影响滤光片蒸镀效果和薄膜特性，通常采用离子束清洗技术，对基片进行的最后一道处理，以消除二次污染，保证基片在镀膜前的真正清洁。离子束清洗技术的清洁机理是: 吸附或黏附在基片上的污物在高能离子束的轰击下脱离基片; 或通过高热能的氧离子氧化污物分子，使它易于被离子碰撞而脱离基片。